VSN?VSNM日本喜開理CKD發生器
實現高速且穩定響應性的小型發生器單元。
小型、輕量，尤其實現了高度尺寸的緊湊化。
【噴嘴直徑】:0.4, 0.5, 0.6?。īL）
【吸入流量】:2～9.5　（L/min（ANR））
行業：半導體制造工序（后工序）

VSN?VSNM日本喜開理CKD發生器

【小型、輕量】
適用于安裝空間有限的客戶。
產品高度緊湊化。

【高速且穩定的響應性】
主閥采用直動閥，實現高速且穩定的響應性。
(ON/OFF=5㎜/sec以下)

【4種壓力傳感器】
壓力傳感器備有4種模擬輸出類型。

VSN?VSNM日本喜開理CKD發生器注意事項：

■ 請勿強拉或極度彎曲電磁閥及傳感器的導線。否則會導致斷線及接插件部損壞。
■ 壓縮空氣中含有大量冷凝水（水、氧化油、焦油、異物）。冷凝水會大幅降低產品的性能，因此請使用后冷卻器、干燥機進行除濕，以提高空氣質量。
■ 請勿使用油霧器。
■ 配管內流入銹漬、異物會導致產品故障、誤動作及性能降低。請在供氣口的前面安裝5μm以下的過濾器。此外，建議在使用前及每隔適當的時間對配管內部進行吹氣清洗。
■ 請避免在有腐蝕性氣體、可燃性氣體的場合使用。同時，請避免將其作為流體使用。由于本產品并非防爆結構，存在爆炸起火的可能性。
■ 請勿在會沾染水滴、油滴、塵埃等的場所中使用。本產品為非防滴、防塵結構，因此可能會導致產品破損及性能降低。
■ 本產品的電磁閥導線存在極性。極性有誤時電磁閥將不動作。
■ 連接真空（V）口的配管請選擇可確保充足的有效截面積的配管直徑和配管長度。有效截面積不足時，可能無法充分發揮吸入流量、真空破壞空氣流量等產品性能。
■ 連接供氣（PS、PV）口的配管請選擇可確保充足的有效截面積的配管直徑和配管長度。有效截面積不足時，壓縮空氣及真空的供給量不足，可能無法充分發揮產品性能。
■ 本產品不附帶真空過濾器。請務必同時使用本公司的真空過濾器系列。如不使用真空過濾器，吸入的塵埃等堆積在產品內部，會導致真空性能降低（發生器系統適用單元）、電磁閥泄漏及動作不良（發生器系統適用單元、真空泵系統適用單元）等問題。
（推薦真空過濾器：VSFU系列、VSFJ系列）
■ 集成型可同時動作的單元數受空氣供給量（供氣口尺寸、配管長度、減壓閥處理流量等）及發生器耗氣量（真空特性）等諸多條件的限制。采用通過集成型進行同時動作的使用方法時，請與本公司營業所協商。
■ 集成型真空發生器中同時存在動作的發生器和不動作的發生器時，真空發生時的排出空氣可能會迂回至不動作的發生器中，從真空口中排出。這種情況下若工件重量較輕，則可能會發生吹走工件等問題，因此請勿在會產生影響的條件下使用。
■ 本產品的電磁閥以連續運行為主。連續通電超過15分鐘時，請控制在10次/天以內。此外，連續通電后請恢復成常規運行。
■ 更換供氣（PS、PV）口、真空（V）口的圓形接頭時，請去除密封部的附著物后切實插入定位銷。
■ 發生器系統適用單元的消音器濾芯及真空泵系統適用單元（單體）的濾芯附著大量塵埃時，可能會導致產品性能降低。建議適時地對濾芯進行清掃和更換。

 產品具體詳見：VSN?VSNM喜開理CKD發生器